- Tytuł:
-
Układ do precyzyjnego zasilania magnetronowych źródeł plazmy
Precision power supply for magnetron plasma source - Autorzy:
-
Gospodarczyk, A.
Majcher, A.
Mrozek, M.
Przybylski, J.
Neska, M. - Tematy:
-
zasilacz
magnetronowe źródło plazmy
zasilacz polaryzacji podłoża
zasilacz impulsowy
przetwornica mocy DC/DC
power supply
magnetron plasma source
bias power supply
switched power supply
high power DC/DC converter - Pokaż więcej
- Data publikacji:
- 2011
- Wydawca:
- Sieć Badawcza Łukasiewicz - Instytut Technologii Eksploatacji - Państwowy Instytut Badawczy
- Dostawca treści:
- Biblioteka Nauki
Artykuł