- Tytuł:
- Comparison of surface morphology and structure of Al2O3 thin films deposited by sol-gel and ALD methods
- Autorzy:
-
Szindler, M.
Szindler, M. M.
Pawlyta, M.
Jung, T.
Dobrzański, L. A. - Tematy:
-
sol-gel
atomic layer deposition
aluminium oxide thin film
antireflection coating
osadzanie warstw atomowych
powłoka antyrefleksyjna - Pokaż więcej
- Dostawca treści:
- BazTech
Artykuł