- Tytuł:
- Application of interference methods for determination of curvature radius in metal-oxide-semiconductor (MOS) structures
- Autorzy:
-
Rzodkiewicz, W.
Borowicz, L. - Tematy:
-
Si-SiO2 system
interferometry
radius of curvature
stress - Pokaż więcej
- Dostawca treści:
- BazTech
Artykuł