- Tytuł:
-
Trawienie plazmowe cienkich warstw Ti₃SiC₂
Plasma etching of thin film Ti₃SiC₂ - Autorzy:
-
Ekielski, M.
Kruszka, R.
Korwin-Mikke, K.
Borysiewicz, M. A.
Wzorek, M. - Tematy:
-
fazy MAX
trawienie plazmowe
MAX phases
plasma etching - Pokaż więcej
- Dostawca treści:
- BazTech
Artykuł