- Tytuł:
- Grain boundary effect on the anisotropy piezoresistance of laser-recrystallized polysilicon layers in SOI-structures
- Autorzy:
-
Pankov, Y.
Druzhinin, A. - Tematy:
-
SOI
polysilicon layers
MLR - Pokaż więcej
- Data publikacji:
- 2001
- Wydawca:
- Instytut Łączności - Państwowy Instytut Badawczy
- Dostawca treści:
- Biblioteka Nauki
Artykuł