- Tytuł:
-
Badanie wpływu wybranych parametrów cyklicznego procesu mokrego trawienia chemicznego epitaksjalnych warstw InAs
Investigation of the selected parameters of periodic wet chemical etching process of InAs epitaxial layers - Autorzy:
-
Boguski, Jacek
Józwowicz, jakub
Nyga, Małgorzta
Złotnik, Sebastian
Wróbel, Jarosław - Tematy:
-
mokre trawienie chemiczne
chropowatość
głębokość trawienia
warstwa epitaksjalna InAs
wet chemical etching
etch depth
roughness
InAs epitaxial layers - Pokaż więcej
- Dostawca treści:
- BazTech
Artykuł