- Tytuł:
-
Zastosowanie procesu Boscha do plazmowego trawienia krzemu
Bosch process for silicon plasma etching - Autorzy:
-
Góra, K.
Kozłowski, A. - Tematy:
-
proces Boscha
ICP
trawienie plazmowe krzemu
współczynnik kształtu
Bosch process
plasma etching
high aspect ratio
silicon etched profile - Pokaż więcej
- Data publikacji:
- 2011
- Wydawca:
- Sieć Badawcza Łukasiewicz - Instytut Technologii Materiałów Elektronicznych
- Dostawca treści:
- Biblioteka Nauki
Artykuł