- Tytuł:
-
Modeling of mechanical influence of double-beam laser on single-crystalline silicon
Modelowanie mechanicznego wpływu podwójnej wiązki laserowej na krystaliczny krzem - Autorzy:
-
Shalupaev, S. V.
Serdyukov, A. N.
Mityurich, G. S.
Aleksiejuk, M.
Nikitjuk, Y. V.
Sereda, A. A. - Tematy:
-
laser cutting
thermoelastic stresses
silicon wafers
crack
cięcie laserowe
naprężenia termoelastyczne
wafle krystaliczne
pękanie - Pokaż więcej
- Data publikacji:
- 2013
- Wydawca:
- Polska Akademia Nauk. Czytelnia Czasopism PAN
- Dostawca treści:
- Biblioteka Nauki
Artykuł